Optical thin-film
光学薄膜快装模块化洁净室解决方案
一、洁净室规划与设计
1.洁净等级划分
·洁净生产区:洁净等级设置为百级、千级或万级,具体根据光学薄膜的生产工艺和要求来确定。
·无尘生产辅助用房:洁净等级设置为万级、十万级,一般包括人流进出洁净用房、物料进出清洁区和部分车间办公生活区等。
·管理区:洁净等级设置为十万级或三十万级,一般包括办公室、会议室、值班室和休息区。
2.平面布局
·合理规划人流、物流通道,避免交叉污染。
·设置必要的缓冲区、更衣室、风淋室等净化设施。
二、装修材料与施工
1.地面材料
采用环氧树脂或PVC地板,具有防静电、耐腐蚀和易清洁特性。
2.墙面与天花板
·墙面采用平整无缝的抗菌夹芯板或喷涂抗静电涂料,避免灰尘积累。
·天花板采用FFU盲板或选用防火彩钢板,确保洁净度和耐用性。
3.门窗与接口
·门窗采用密闭结构,门配置电子联锁和自动闭合装置。
·所有接口处必须密封处理,防止颗粒物渗入。
三、空气净化系统
1.洁净空调系统
·配备高效过滤器(HEPA)和初、中效过滤系统,确保空气洁净度。
·根据洁净等级要求,合理设计送风量、换气次数和风速。
2.恒温恒湿系统
·配备独立恒温恒湿系统,温度控制在20-25℃,湿度控制在30%-60%。
·优先选择中央空调配合除湿机的方式,确保长期稳定运行。
四、气体供应与废气处理
1.高纯气体供应
·采用高纯度气体输送管路(如不锈钢或PTFE管),确保气体质量。
·配备减压阀、流量控制器及备用气瓶切换装置,提高气体供应的稳定性。
2.废气处理系统
·配置活性炭吸附装置、冷凝回收装置或湿式洗涤塔等废气处理设备。
·根据废气成分选择合适的处理方式,确保排放气体符合国家环保标准。
五、监测与维护
1.实时监测
·安装实时监测设备,对环境参数(如温度、湿度、洁净度等)进行实时监测。
·联动报警系统,确保环境参数及时调整,避免影响生产质量。
2.维护管理
·制定详细的维护计划,定期对空气净化系统、气体供应系统等进行维护保养。
·建立完善的清洁制度,确保洁净室的清洁度和卫生状况。